根据企业会计制度的规定：企业应于实际收到专项拨款时，借记“银行存款”科目，贷记“专项应付款”科目；2、拨款项目完成后，形成各项资产的部分，应按实际成本，借记“固定资产”等科目，贷记有关科目；同时，借记“专项应付款”科目，贷记“资本公积——拨款转入”科目；未形成资产需核销的部分，报经批准后，借记“专项应付款”科目，贷记有关科目；拨款项目完成后，如有拨款结余需上交的，借记“专项应付款”科目，贷记“银行存款”科目。

因此，题中相关会计处理应当为：企业用于装修房屋5万元的分录借：专项应付款 50 000元贷：银行存款 等科目 50 000元2、企业用于软件开发费用其工资为10万元的分录借：专项应付款 100 000元贷：应付工资 100 000元3、企业用于购机器的费用10万元的分录借：固定资产 100 000元贷：银行存款 等科目 100 000元同时：借：专项应付款 100 000元贷：资本公积——拨款转入 100 000元请注意，该固定资产亦属于企业自有固定资产，与企业其他固定资产一样，应当根据规定按期计提折旧。

4、企业所花各项办公等费用3万元的分录借：专项应付款 30 000元贷：银行存款 等科目 30 000元5、上交剩余拨款借：专项应付款 220 000元贷：银行存款 220 000元。