（1）易水解、在空气中剧烈发烟SlHCl3+nH2O —→SiO2•nH2O + Cl2+HCl (2 ) 易挥发、易汽化 (3 ) 易着火、易爆炸：三氯氢硅的发火点为28℃，燃烧时产生氢气和氯化氢，其反应如下：SiHCl3 +O2 —→SiO2 + Cl2 + HCl 三氯氢硅蒸汽燃烧时具有天蓝色的火焰，在氧不足的情况下产生浓的白烟（可用作烟雾弹）。

（4）对金属极为稳定，甚至对金属钠也不起反应。

（5）其蒸汽具有弱毒性，对人体有害。