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薄膜干涉检查平整度左凹右凸的原因(薄膜干涉检查平整度)

导读 工件A处凹陷,B处凸起。当光线垂直入射时,被薄膜上下表面反射的光线的光程差为2ne, 其中2n是常量,厚度e相同的地方,位相差相同,所以c正...

工件A处凹陷,B处凸起。

当光线垂直入射时,被薄膜上下表面反射的光线的光程差为2ne, 其中2n是常量,厚度e相同的地方,位相差相同,所以c正确;达到相应的厚度,才能得到相应级次的条纹,条纹向左边凸起,表明由于工件凹陷,导致厚度大于空气膜的正常厚度,反之亦然,所以b正确。

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