【什么是石墨舟】石墨舟是一种在高温工业中广泛应用的耐火材料工具，主要用于半导体、光伏、电子元器件等领域的热处理过程中。它由高纯度石墨制成，具有良好的导热性、耐高温性和化学稳定性，能够承受高达3000℃以上的高温环境。
一、石墨舟的定义
石墨舟是一种用于承载和输送物料在高温炉中进行热处理的容器。其结构通常为长条形或矩形，内部设有多个孔位，用于放置待加工的晶圆、硅片或其他材料。由于石墨具有优异的物理和化学性能，因此被广泛应用于需要高温环境的工业生产中。
二、石墨舟的主要特点
| 特点 | 描述 |
| 耐高温 | 可承受3000℃以上高温，适合高温工艺使用 |
| 导热性好 | 热传导效率高，有利于均匀加热 |
| 化学稳定性强 | 不易与大多数化学物质发生反应 |
| 耐腐蚀 | 在高温下不易氧化或腐蚀 |
| 机械强度高 | 具有良好的抗压和抗弯性能 |
三、石墨舟的应用领域
| 领域 | 应用场景 |
| 半导体 | 用于晶圆的高温退火、扩散等工艺 |
| 光伏 | 用于硅片的高温烧结和表面处理 |
| 电子元器件 | 用于陶瓷、金属材料的高温烧结 |
| 精密制造 | 用于高精度零件的热处理 |
四、石墨舟的制造工艺
1. 原料选择：选用高纯度石墨粉作为主要原料。
2. 成型加工：通过模具压制或挤压成型，形成所需形状。
3. 高温烧结：在高温环境下进行烧结，提高材料致密性和强度。
4. 表面处理：对表面进行打磨或涂层处理，增强耐用性。
五、石墨舟的维护与保养
- 定期检查是否有裂纹或破损；
- 避免剧烈温度变化，防止热应力损坏；
- 清洁时使用软布或专用清洁剂，避免使用腐蚀性强的化学品；
- 存放于干燥通风处，防止受潮影响性能。
六、总结
石墨舟作为一种重要的高温工业工具，在现代制造业中发挥着不可替代的作用。其优良的物理和化学性能使其成为高温热处理过程中的理想选择。随着技术的发展，石墨舟的性能也在不断提升，应用范围也将进一步扩大。
